本文摘要：近年来，激光加工市场需求快速增长明显，液体激光器以其脉相间，输入能量大，峰值功率低及材料吸取好等特点，在细致微加工和类似材料加工领域表现出色，受到市场普遍的赞誉与接纳。液体激光在国防、加工、医疗和科学研究领域具有普遍的用途，在工业领域，除了传统的激光打标、划线、切割成、钻孔、材料除去、表面处置及类似材料加工等应用于外，近年来增材生产、新型表明、UV激光标识等新技术的发展更进一步拓宽了液体激光的应用领域。

近年来，激光加工市场需求快速增长明显，液体激光器以其脉相间，输入能量大，峰值功率低及材料吸取好等特点，在细致微加工和类似材料加工领域表现出色，受到市场普遍的赞誉与接纳。液体激光在国防、加工、医疗和科学研究领域具有普遍的用途，在工业领域，除了传统的激光打标、划线、切割成、钻孔、材料除去、表面处置及类似材料加工等应用于外，近年来增材生产、新型表明、UV激光标识等新技术的发展更进一步拓宽了液体激光的应用领域。图1华为MateX手机随着华为MateX5G拉链手机的发售，创造性的柔性屏技术和更加高速通信手段将引导手机市场的新风向，这或造就液体激光市场的更进一步快速增长。5G手机的天线及玻璃后盖必须使用细致的非同脉冲激光展开加工。

OLED（有机发光二极管）作为一种新兴的柔性表明技术，在生产过程中对精度拒绝十分低。非同脉冲激光冻切割成工艺使用非接触式加工方式，以切割成边缘亡边小、精度高，大幅提高了工件的良率及加工效率，沦为OLED柔性屏加工的理想自由选择。液体激光器是一种通过谐振腔与掺杂晶体将泵浦光能量切换为信号光的装置，其中泵浦光主要由半导体激光器获取。

半导体激光器是液体激光器的核心器件之一。工业液体激光的掺杂晶体大多掺入稀土元素Nd3＋离子，少见的如Nd：YAG、Nd：YVO4等，其泵浦源多使用808nm波段或878nm波段的半导体激光器。

以Nd：YVO4为事例，其光谱吸取谱线如下图右图：图2Nd：YVO4晶体的吸取曲线Nd：YVO4在808nm波段具备较高的吸收系数与较宽的吸收光谱，是目前应用于最普遍的泵浦波段。但是，808nm泵浦源不存在大约0.3nm／℃的温度飘移系数。当工作环境温度发生变化时，泵源的中心波长将产生飘移，进而影响Nd：YVO4晶体对泵浦光的吸取效率，减少液体激光器的光光切换效率和输入光功率。

因此，液体激光器工作时必须对泵浦源展开TEC温度控制，这是目前早已很成熟期的应用于方案。经长光华芯多家用户对系统，泵浦源的中心波长掌控在808±3nm才可构建小于53％的光光切换效率，符合实际的用于市场需求。

Nd：YVO4在878.6nm波段的吸收系数较低且吸取序长较宽，但比起于808nm波段泵浦，其量子效率更高，完全相同泵浦流经功率下，产生的热量将增加30％－50％，可有效地减少低流经功率下的“热效应”问题，取得更佳的光束质量和更高的输出功率。但Nd：YVO4在878.6nm一处吸收光谱较宽，即使使用TEC加热器的方式对泵源的波长展开掌控，其光谱宽度仍无法确保晶体的有效地吸取切换。所以，工业液体激光器在878.6nm波段一般搭配波长瞄准的泵浦源产品。泵源波长瞄准后，光谱宽度可以收窄到大于1nm，同时中心波长基本不随温度变化，可以与878.6nm波段的吸取峰构建最佳给定。

由于878.6nm泵源必须波长瞄准，成本方面要低于808nm泵源。图3长光华芯808nm／880nm光纤耦合模块宽光华芯的高亮度808nm和878.。

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